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小型デジタルマスフローコントローラー EX-250SC

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商品情報

【画像はイメージです】
【納期について】本商品は受注生産品です。ご注文後メーカーにて製作（出荷検査）を致します。
メーカーの生産工数により変動はございますが、注文後おおむね1ヵ月(休業日除く)後の発送となります。
ご注文後のキャンセルは一切出来ませんので納期でお急ぎの場合は、ご注文前に必ず弊社にお問い合わせください。

■マスフローコントローラー EX-250SCの特長

対象ガス：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2(記載ないガスはN2換算)
流量レンジ：5SCCM～10SLM
制御範囲：2～100％F.S.
精度：±1.0％F.S.
動作差圧：50～300kPa(Ar、CO2：100～300kPa)
耐圧：980kPa
接ガス部材質：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、FKE
流量設定入力信号：0～5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)または4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)
流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗10kΩ以上)または4～20mA(負荷抵抗500Ω以下)
デジタル通信：RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定
電源：+15VDC(±5％)100mA以下、－15VDC(±5％)150mA以下または+24VDC(±10％)180mA以下
継手：1/4F900(標準)
外寸法・重量：W76×D30×H80mm・約500g

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