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ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 アルバック

ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 アルバック
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ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 アルバック

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商品情報

ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 アルバック

■特徴■

●ベース架台内に必要機器をコンパクトに構成しており、クリーンな真空環境に適しています。

■仕様■

●型番：VPT-060
●サイズ(mm)：340×340×355
●重量(kg)：17
●到達圧力：10^-5Pa台
●メインポンプ：ターボ分子ポンプ(空冷式)　60L/sec
●補助ポンプ：ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min
●所要電気量：単相100V 0.3kVA
●吸気口：ISO63

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